待處理有機廢氣經引風機進入蓄熱室 1 的陶瓷介質層（該陶瓷介質“貯存”了上一氧化周期產生的熱量），陶瓷介質釋放熱量，溫度降低，而有機廢氣吸收熱量，溫度升高，廢氣離開蓄熱室后以較高的溫度進入氧化室， 此時廢氣溫度的高低取決于陶瓷體的體積、廢氣流速和陶瓷體的幾何結構。 在氧化室中，有機廢氣再由燃燒器補燃，加熱升溫至設定的氧化溫度。 使其中的有機物被氧化分解成 CO2 和 H2O。由于廢氣已在蓄熱室內預熱，燃燒器的燃料用量大為減少。氧化室有兩個作用：一是保證廢氣能達到設定的氧化溫度，二是保證有足夠的停留時間使廢氣中的VOC充分氧化。
廢氣流經蓄熱室1升溫后進入氧化室焚燒，成為被凈化的高溫氣體后離開氧化室，進入蓄熱室2（在前面的循環中已被冷卻，此時蓄熱式3正處于吹掃凈化狀態），廢氣中的熱能被陶瓷體截留，廢氣的溫度得到明顯的 降低，而蓄熱室2吸收大量熱量后升溫（用于下一個循環加熱廢氣）。處 理后氣體離開蓄熱室2，經排風機排入大氣。
循環完成后，進氣與出氣閥門進行一次切換，進入下一個循環，廢氣 由蓄熱室2進入，蓄熱室3排出。在切換之前，已被凈化的氣體經反吹系統清掃蓄熱室1吹掃殘留在管路及室內的有機物。這樣可使廢氣的凈化率更高，可達到98%以上。三個蓄熱室的閥門交替運行。
